ROHS檢測儀器就是X射線熒光光譜儀，其分析事理也就是X射線熒光光譜儀的分析事理。X射線熒光光譜儀常日可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀緊張部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和干系電子與控制部件，相對大略。

　　波長色散X射線熒光光譜儀利用分析晶體分辨待測元素的分析譜線，根據Bragg定律，顛末進程測定角度，即可獲得待測元素的譜線波長：λ=2dsinaθ(n=1,2,3…) 式中，λ為分析譜線波長；d為晶體的晶格間距；θ為衍射角；n為衍射級次。ROHS檢測儀器利用測角儀可以測得分析譜線的衍射角，利用上式可以打算相應被分析元素的波長，從而獲得待測元素的特征信息。能量色散射線熒光光譜儀則采用能量探測器，顛末進程測定由探測器收集到的電荷量，直接獲得被測元素發出的特征射線能量：Q=kE式中，K為入射射線的光子能量；Q為探測器產生的相應電荷量；k為不同類型能量探測器的相應參數。電荷量與入射射線能量成正比，故顛末進程測定電荷量可獲得待測元素的特征信息。

　　ROHS檢測儀器待測元素的特征譜線需要采用一定的激發源才能獲得。目前常規采用的激發源緊張有射線光管和同位素激發源等。為獲得樣品的定性和定量信息，除光譜儀外，還必須采用一定的樣品制備技能，并對獲得的強度結束干系的譜分析和數據處理。